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一种半导体晶圆电镀设备

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一种半导体晶圆电镀设备

20000.00

专利(申请号):2018105347524

专利 ID :CN108588802B

法律状态:专利权维持

更新日期:2020-07-23

所属分类:C25D17/00

已售
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专利申请人:江苏爱矽半导体科技有限公司

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专利详情
本发明属于半导体制造技术领域,具体的说是一种半导体晶圆电镀设备,包括反应腔、磁环、晶圆、保持架和永磁体,晶圆在反应腔内进行电镀反应;磁环水平固定在反应腔内,磁环在反应腔内均匀排列有多层;晶圆两两组成一对、上下对称布置,晶圆设置于磁环上方,一组晶圆之间通过保持架实现连接,作为一组的上下两块晶圆边缘通过密封板实现密封;保持架位于一组晶圆的封闭空间内;永磁体设置于保持架内部,永磁体与磁环对晶圆产生方向相反的作用力,从而实现晶圆在磁环上方的悬浮,晶圆悬浮与电镀溶液内,保证了电镀的均匀性。本发明采用使晶圆悬浮在电镀液中的方式来完成晶圆的电镀,电镀层的均匀性好;同时能够实现批量电镀、工作效率高。

专利交易流程

Patent transaction steps

资料过户
买卖双方需提供资料
公司 个人
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身份证
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专利权转让协议
办理文件副本请求书
发明人变更声明
专利证书
手续合格通知书
专利登记簿副本
常见问题

Q:专利年费如何缴纳?

A:授予专利权当年的年费,应在授予专利权通知书中指定的期限内缴纳,以后的年费应在前一年度期满前一个月内预缴。如果没按规定时间缴纳或缴纳数额不足,可在年费期满之日起6个月内补缴,同时缴纳相应数额的滞纳金。

Q:专利的有效期是多少年?

A:发明专利20年;实用新型专利10年;外观设计专利10年。

Q:购买专利的时候要注意些什么问题?

A:1、专利有效期长短。每个专利都有一定有效期,例如实用和外观有效期10年,发明是20年。购买时需要留意您所购买的专利有效期还有多久。
2、专利权人。查看专利权人是否是出售专利者,专利权人是否有多个。避免出现出售者无权销售专利,签订合同无效的情况。
3、专利类型。专利名称会有多个类似,要确认您购买的专利是哪个类型的,与合同是否一致。
4、专利目前授权使用情况。该专利是否有许可转让甚至独占许可过,这些都需要在合同中列明,避免购买了独占许可的专利,而无法使用。
5、专利是否出于有权状态。(是否存在未及时缴纳年费或者被宣布无效等情况)

Q:买的专利多久能下证?

A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《手续合格通知书》。